普通压阻式压力传感器其敏感测控惠斯顿全桥的四个力敏电阻是用集成电路工艺制造的,电阻间用PN结相互隔离,由于受到PN结耐温限制,最高使用温度125℃ ,而实际上由于PN结反向露电流随温度指数上升关系,在温度超过100℃后,传感器性能已大大劣化,限制普通压阻传感器的可用温度范围,利用陶瓷厚膜技术可将温度提高至125℃;还可以利用多晶SOI技术制作力敏电阻,可将温度扩展至到200℃;利用隔离一体或加散热片可将温度提高到250℃,要想温度达到400℃,可做高温水冷式,本系列产品同时设计成高频动瞬时高温1000℃。
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